检测项目

氦气泄漏率测试：≤1×10^-9 Pa·m³/s（静态累积法）

压力保持能力验证：0.5-10 MPa（保压时长≥30min）

真空度衰减监测：初始真空度≤1×10^-3 Pa（24h变化量＜5%）

气密性循环试验：交变压力±15%额定值（100次循环）

温度适应性测试：-196℃至300℃（热震循环≥50次）

检测范围

316L/304不锈钢高洁净管路系统

铜合金承压阀门与法兰组件

PTFE/PEEK聚合物密封件

真空钎焊/激光焊接接头

多层复合金属软管组件

检测方法

ASTM E499-11(2021)：氦质谱示踪气体检漏法

ISO 20486:2017：真空衰减法密封性评估规程

GB/T 13979-2021：气泡法泄漏量分级判定标准

GB/T 12604.7-2021：压力变化法泄漏率计算规范

ISO 15848-1:2015：严苛工况密封性能分级体系

检测设备

INFICON UL1000氦质谱检漏仪：灵敏度1×10^-12 mbar·L/s

Agilent VS系列真空计测系统：量程1×10^-9-1000 Pa

MKS 925B高精度压力传感器：分辨率±0.05%FS

FLUKE PTI120气密性测试仪：压差分辨率0.01 Pa

ESPEC T-42三温区循环箱：温控精度±0.5℃