检测项目

表面元素种类及含量测定（0.1ppm-100wt%）

元素二维/三维分布状态分析（分辨率≤1μm）

氧化层/镀层厚度测量（1nm-50μm）

夹杂物/析出相成分鉴定（粒径≥0.5μm）

界面扩散层深度表征（精度±5%）

检测范围

不锈钢制品：食品机械/医疗器械表面钝化层

铝合金构件：航空航天用阳极氧化膜层

钛合金植入体：生物相容性表面处理层

镀层材料：汽车零部件电镀锌/镍层

焊接接头：核电管道熔覆区元素偏析

检测方法

能谱分析（EDS）：ASTM E1508, GB/T 17359

X射线荧光光谱（XRF）：ISO 3497, GB/T 16597

辉光放电光谱（GDOES）：ISO 14707, GB/T 22966

二次离子质谱（SIMS）：ASTM E1504, ISO 18114

俄歇电子能谱（AES）：ISO 18118, GB/T 26533

检测设备

Thermo Fisher Noran System 7 EDS探测器：配合场发射电镜实现0.1%含量检测限

Oxford Instruments Xplore 30 XRF光谱仪：配备30mm²硅漂移探测器

HORIBA GD-Profiler 2 GDOES：深度分辨率达纳米级

Cameca IMS 7f SIMS：质量分辨率＞20,000 M/ΔM

ULVAC-PHI 710 AES：电子束直径＜10nm的纳米级分析