检测项目
真空密封性测试：极限真空度≤5×10^-4 Pa
静态升压率检测：允许升压率≤0.5 Pa/h
氦气本底浓度校准：控制值≤1×10^-8 Pa·m³/s
动态漏率测试：可检最小漏率1×10^-12 Pa·m³/s
多工位并行检漏：支持8-16工位同步测试
检测范围
半导体制造设备：晶圆传输腔室、PVD/CVD反应腔体
高真空阀门与法兰组件：金属密封件、波纹管组件
新能源电池系统：燃料电池双极板、电解槽密封结构
航空航天部件：推进剂贮箱、舱体焊接接头
医疗仪器设备：MRI超导磁体杜瓦、血液分析仪流路系统
检测方法
ASTM E499-19：质谱仪检漏的标准试验方法
ISO 20485:2017：非放射性示踪气体泄漏检测方法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34632-2017：真空技术 氦质谱检漏方法
ASME BPVC Section V：压力容器真空箱法检漏规范
检测设备
ULVAC HELIOT 3000Z：四极杆质谱仪，分辨率0.1 amu，响应时间＜1s
Edwards ASM 340 T：涡轮分子泵组，抽速340 L/s（N₂）
INFICON ECOTEC H300：多通道采集系统，支持32路信号同步处理
Agilent VS-15：真空校准系统，压力范围1×10^-5~1000 Pa
CETA DCG-050E：氦气回收净化装置，回收效率≥98%