爱发科真空箱式氦检漏检测

检测项目

真空密封性测试：极限真空度≤5×10^-4 Pa

静态升压率检测：允许升压率≤0.5 Pa/h

氦气本底浓度校准：控制值≤1×10^-8 Pa·m³/s

动态漏率测试：可检最小漏率1×10^-12 Pa·m³/s

多工位并行检漏：支持8-16工位同步测试

检测范围

半导体制造设备：晶圆传输腔室、PVD/CVD反应腔体

高真空阀门与法兰组件：金属密封件、波纹管组件

新能源电池系统：燃料电池双极板、电解槽密封结构

航空航天部件：推进剂贮箱、舱体焊接接头

医疗仪器设备：MRI超导磁体杜瓦、血液分析仪流路系统

检测方法

ASTM E499-19：质谱仪检漏的标准试验方法

ISO 20485:2017：非放射性示踪气体泄漏检测方法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34632-2017：真空技术 氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V：压力容器真空箱法检漏规范

检测设备

ULVAC HELIOT 3000Z：四极杆质谱仪，分辨率0.1 amu，响应时间＜1s

Edwards ASM 340 T：涡轮分子泵组，抽速340 L/s（N₂）

INFICON ECOTEC H300：多通道采集系统，支持32路信号同步处理

Agilent VS-15：真空校准系统，压力范围1×10^-5~1000 Pa

CETA DCG-050E：氦气回收净化装置，回收效率≥98%

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"爱发科真空箱式氦检漏检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。