检测项目

表面电阻率：测量范围0.01-1000Ω·sq（方阻），精度±1%

体积电阻率：测试范围1×10^-8-1×10^-3Ω·cm

厚度均匀性：允许偏差±0.5μm（10μm厚度基准）

抗拉强度：测试范围50-800MPa，应变速率0.5-50mm/min

耐腐蚀性：中性盐雾试验（NSS）48-1000小时

检测范围

电子级电解铜箔（ED铜箔）

压延退火铝箔（O态铝箔）

真空蒸镀镍箔

溅射沉积金箔

复合金属合金箔（如铜镍合金）

检测方法

ASTM B193-20《导电材料电阻率标准测试方法》

ISO 2371:2022《金属薄层厚度测量—β射线反向散射法》

GB/T 228.1-2021《金属材料拉伸试验第1部分：室温试验方法》

IEC 60068-2-11:2021《环境试验盐雾测试规范》

GB/T 13542.2-2009《电气绝缘用薄膜第2部分：试验方法》

检测设备

四探针测试仪（RTS-9型）：量程0.01μΩ·cm-100MΩ·cm

激光共聚焦显微镜（Olympus LEXT OLS5000）：三维形貌分析精度0.5nm

万能材料试验机（Instron 5967）：最大载荷50kN，位移分辨率0.1μm

盐雾试验箱（Q-FOG CCT1100）：温度控制精度±0.5℃

X射线荧光测厚仪（Fischer XDV-μ）：测量精度±0.02μm@10μm量程