检测项目

最小可检漏率：≤5×10^-13 Pa·m³/s（标准氦气介质）

响应时间：≤3秒（90%信号输出）

工作压力范围：1×10^-4 Pa至大气压

本底噪声值：＜1×10^-12 Pa·m³/s

质谱室真空度：≤5×10^-4 Pa（持续稳定状态）

检测范围

高真空系统组件：分子泵组、真空腔体法兰密封件

压力容器：LNG储罐焊缝、核级阀门壳体

微电子器件：MEMS封装结构、晶圆级真空封装

医疗设备：血液透析器膜组件、人工心脏瓣膜

航空航天部件：推进剂贮箱、舱门密封系统

检测方法

ASTM E499/E499M-22：示踪气体法真空系统泄漏测试标准

ISO 20485:2017：非破坏性试验-质谱检漏仪校准规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测章节

GB/T 32293-2015：真空技术-氦质谱检漏仪测试方法

ASME BPVC Section V：压力容器真空检漏验收标准

检测设备

主检仪器：ZQJ3000型氦质谱检漏仪（分辨率0.5amu）

辅助系统：JKY-6型分子泵机组（极限真空6×10^-7Pa）

校准装置：HL-1000型标准漏孔（不确定度±5%）

数据采集：DAS-3000多通道采集系统（采样频率100Hz）

环境监控：TES-1360A温湿度记录仪（精度±0.5℃）