检测项目
电子密度：109-1012 cm-3
电子温度：1-5 eV
气体温度：300-1000 K
活性粒子浓度（O·/OH·）：1015-1017 cm-3
表面接触角变化率：±30°
检测范围
高分子材料：聚乙烯（PE）、聚四氟乙烯（PTFE）等表面改性层
金属材料：铝合金阳极氧化膜层、不锈钢钝化层
医疗器械：导管/植入物灭菌效果验证
半导体器件：晶圆刻蚀均匀性评估
纺织品：纤维表面亲/疏水性改性层
检测方法
ASTM E3061-17 等离子体电子密度测量规范
ISO 22007-3:2008 热探针法测定气体温度
GB/T 39144-2020 低温等离子体发射光谱分析方法
ISO 10993-7:2008 医疗器械灭菌残留物检测
GB/T 24369.1-2018 金属表面处理层厚度测量
检测设备
Langmuir探针系统（ESPion-256）：实时测量电子密度/温度分布
光学发射光谱仪（Avantes AvaSpec-ULS2048CL）：活性粒子浓度分析
四极质谱仪（Hiden HPR-60）：气体成分在线监测