检测项目

泄漏率测试：覆盖1×10⁻⁷ Pa·m³/s至1×10⁻¹² Pa·m³/s六级精度等级

灵敏度校准：最小检出浓度0.1ppm（氦气/空气体积比）

响应时间验证：≤2s（标准工况下）

稳定性测试：连续运行8小时漂移值＜±5%

环境适应性验证：工作温度-40℃~80℃，湿度范围10%~95%RH

检测范围

真空系统组件：分子泵密封法兰、真空腔体焊缝

压力容器：LNG储罐双层壳体、高压气瓶阀门

半导体设备：刻蚀机反应腔体、晶圆传输模块

航空航天部件：燃料管路接头、舱门密封结构

医疗设备：MRI超导磁体杜瓦、血液透析仪液路系统

检测方法

ASTM E493-22《真空检漏的标准试验方法》

ISO 15848-1:2015《工业阀门-微泄漏测量》

GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》

GB 18435-2017《潜水呼吸气体》附录C氦检规范

ASME BPVC Section V Article 10 真空箱法补充要求

检测设备

氦质谱检漏仪：Leybold PHOENIX L300i（分辨率0.1ppm）

多通道嗅探探头：INFICON HLD6000（6通道同步采集）