检测项目

最小可检漏率：1×10⁻¹² Pa·m³/s（静态模式）

响应时间：≤1秒（90%信号响应）

校准漏率范围：1×10⁻⁵ ~ 1×10⁻¹² Pa·m³/s

测试压力范围：高真空（<5×10⁻³ Pa）至正压（2 MPa）

环境适应性：温度-20℃~50℃，湿度≤85% RH

检测范围

真空设备：分子泵组、低温管路系统

密封容器：高压气瓶、LNG储罐

电子元件：晶圆封装体、MEMS器件

医疗器械：人工心脏瓣膜、植入式起搏器

航空航天部件：推进剂贮箱、舱体密封结构

检测方法

ASTM E493-22《真空箱法氦泄漏测试规程》

ISO 20485:2017《无损检测-泄漏检测-示踪气体法》

GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》

GB/T 34632-2017《真空技术 氦质谱检漏方法》

ASME BPVC Section V Article 10《压力容器氦检规范》

检测设备

Pfeiffer ASM 340：四极杆质谱技术，动态范围覆盖1×10⁻⁴ ~ 1×10⁻¹² mbar·L/s

Agilent H1000：双通道离子源设计，响应时间<0.3秒（He-4同位素模式）

Leybold UL 200：集成自动校准模块，支持SNIFFER模式与真空模式切换

INFICON ECOTEC HLT560：多级涡轮分子泵组，极限真空度达5×10⁻⁷ mbar

Shimadzu MSD-G1000：磁偏转质谱结构，质量分辨率≥200（10%峰谷）