检测项目

泄漏率测试：基准灵敏度1×10⁻⁹ Pa·m³/s，可调范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁶ Pa·m³/s

压力循环测试：工作压力范围-100kPa~2MPa（绝对压力），循环次数≥500次

响应时间测试：标准条件下T90≤3秒（氦气浓度变化10%~90%）

背景信号干扰测试：本底噪声≤5×10⁻¹² Pa·m³/s

环境适应性测试：温度-20℃~50℃，湿度10%~95%RH（非冷凝）

检测范围

真空设备：分子泵组、低温冷阱、真空腔体

密封元件：O型圈、金属垫片、波纹管组件

压力容器：储氢罐、LNG气瓶、反应釜

电子器件：半导体封装、MEMS传感器外壳

管路系统：核级管道、航天器燃料管路

检测方法

ASTM E499-20：示踪气体法真空箱检测规程

ISO 20485:2017：非破坏性测试-氦质谱检漏方法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34632-2017：密封元件氦泄漏率测试方法

JJF 1346-2012：氦质谱检漏仪校准规范

检测设备

HX-300A型氦质谱检漏仪：四极杆质谱技术，最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s

LQ-8000真空集成系统：双级分子泵组（极限真空5×10⁻⁷ Pa），配备自动充氦装置

TQ-ZY12多通道采集器：同步采集32路压力/流量信号（精度±0.25%FS）

CJSB-40环境模拟舱：温控精度±1℃，湿度控制±3%RH

SDP2000数字微压计：量程±5000Pa（分辨率0.01Pa），用于压差法辅助验证