检测项目
工业气体中氦体积浓度：测量范围0.01%-100%，分辨率±0.05%
高纯氦杂质含量：O₂≤0.5ppm/N₂≤1ppm/H₂O≤2ppm
密闭空间泄漏浓度：阈值设定0.1-1000ppm可调
混合气体配比分析：He/Ar/N₂多元组分同步检测
压力适应性测试：工作压力范围0.1-10MPa
检测范围
工业气体产品：压缩氦气罐/液化氦储罐/管道输送气体
电子元器件：半导体封装腔体/光纤制造保护气氛
真空设备：质谱仪离子源/粒子加速器冷却系统
医疗设备：MRI超导磁体/呼吸治疗混合气体
科研材料：低温实验装置/核反应堆中子慢化剂
检测方法
气相色谱法：ASTM F2601-18/GB/T 28727-2012
质谱分析法：ISO 18117:2009/GB/T 34826-2017
红外光谱法：ASTM E1944-98(2021)
热导检测法：GB/T 8984-2008
激光吸收光谱法：ISO 10849:2022
检测设备
Agilent 7890B气相色谱仪：配备TCD检测器，最小检出限0.05ppm
Thermo Scientific ISQ 7000质谱仪：质量范围1-1050amu，扫描速率20,000amu/s
Siemens Ultramat 23红外分析仪：双光束NDIR技术，量程0-100%vol
INFICON HLD3000氦检漏仪：响应时间＜3s，流量范围5-500mL/min
MKS MultiGas™ 2030激光分析系统：可测He/Ne/Ar等8种气体组分