检测项目

1.洁净室悬浮粒子浓度测试：大于等于0.1微米粒子计数，大于等于0.3微米粒子计数，大于等于0.5微米粒子计数，大于等于5.0微米粒子计数。

2.产品表面微粒污染分析：表面残留颗粒尺寸分布，表面颗粒物化学成分鉴定，单位面积颗粒数量统计。

3.工艺气体洁净度测试：压缩空气中油雾浓度，工艺气体中固体颗粒物浓度，气体输送管路颗粒脱落评估。

4.原材料微粒负载量测试：硅片表面洁净度，光刻胶颗粒污染分析，封装材料粉末粒度分布。

5.微型颗粒与纤维识别：纤维状污染物计数与分类，超细金属颗粒检测，有机微屑分析。

6.洁净服及无尘用品发尘测试：洁净服整体发尘率，无尘擦拭布颗粒释放量，手套表面微粒检测。

7.设备与工具颗粒脱落评估：生产设备运行中颗粒散发量，机械手臂运动产生的微粒，真空吸笔颗粒脱落测试。

8.沉积速率监测：关键生产区域颗粒沉降速率，晶圆表面颗粒沉积趋势分析。

9.粒径分布特征分析：颗粒数量中值直径，颗粒质量中值直径，分布几何标准偏差计算。

10.环境恢复能力测试：自净时间测试，扰动后粒子浓度恢复速率评估。

11.静电消散材料微粒吸附测试：评估材料表面对环境颗粒的吸附与释放特性。

12.工艺液体颗粒污染测试：超纯水中不溶性微粒浓度与分布，清洗液颗粒残留分析。

检测范围

硅晶圆、集成电路芯片、芯片封装材料、引线框架、陶瓷基板、印刷电路板、片式元器件、光掩模版、洁净室高效过滤器、层流工作台、工艺气体管道、超纯水系统出水口、洁净服与手套、无尘擦拭材料、晶圆传输盒、塑封料颗粒、焊锡球、金丝、环氧树脂模塑料、光刻胶滤芯

检测设备

1.激光尘埃粒子计数器：用于实时监测洁净环境中不同粒径档的悬浮粒子数量浓度；具备连续监测、多通道粒径同时分析及数据记录功能。

2.扫描电子显微镜：用于对产品表面或滤膜采集的颗粒进行高分辨率形貌观察和尺寸测量；可配合能谱仪进行微区化学成分分析。

3.凝结核粒子计数器：用于检测极小粒径的悬浮粒子；通过凝结技术使超细颗粒增大以便于光学检测，测量下限可达纳米级。

4.液体颗粒计数器：专用于检测超纯水、化学品等液体中的不溶性微粒的尺寸与数量；采用光阻法或光散射法原理。

5.空气采样器：用于主动采集特定区域空气样品至滤膜或培养皿上；可进行重量分析、颗粒计数或后续的显微镜观察。

6.表面颗粒检测仪：通过激光扫描或成像技术，快速统计放置在扫描台上的产品表面的颗粒数量与分布。

7.滤膜称重分析系统：包含精密天平与恒温恒湿箱，用于对采集有颗粒的滤膜进行称重，以计算颗粒的质量浓度。

8.粒度分析仪：采用激光衍射或动态光散射原理，用于分析粉体原材料或液体中颗粒群的体积或数量粒径分布。

9.显微图像分析系统：由光学显微镜、高清晰度相机及专业软件组成，用于对采集的颗粒样品进行自动图像识别、计数与尺寸测量。

10.在线气体颗粒监测仪：可直接安装在工艺气体管道上，实时监测并报警气体中固体颗粒物的浓度变化。