检测项目

漏率范围测定：1×10⁻¹²~1×10⁻⁴ Pa·m³/s

最小可检漏率：≤5×10⁻¹³ mbar·L/s（标准工况）

响应时间测试：≤3秒（氦气浓度达90%峰值）

背景噪声抑制：≤1×10⁻¹⁴ Pa·m³/s

重复性误差分析：相对标准偏差＜±5%

温度适应性验证：-50℃~150℃工况泄漏稳定性

检测范围

真空设备密封件：不锈钢法兰、橡胶O型圈

航空航天部件：燃料储罐焊缝、钛合金密封舱体

电子元器件：半导体封装外壳、MEMS器件腔体

医疗设备：血液透析仪管路接头、高压氧舱阀门

新能源装置：燃料电池双极板、锂电池铝塑膜封装

检测方法

ASTM E493-22：质谱仪示踪气体法真空模式泄漏测试

ISO 3530:2023：氦质谱检漏仪校准与操作规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34632-2017：密封元件氦泄漏率测试方法

ASTM E1603-24：加压累积法泄漏量计算规程

检测设备

INFICON UL1000氦质谱检漏仪：分辨率0.1 amu，支持10⁻¹³ mbar·L/s级灵敏度测试

Agilent 9790A四极杆质谱系统：集成自动校准模块，满足ISO 3530全项认证

LEYBOLD PHOENIX L300i：双通道模式可同步开展真空法与吸枪法测试

VIC LeakMaster HLT560：高温夹具适配器支持-196℃~300℃极端条件检测

ESCO VFC-3000真空法兰校准装置：提供NIST可追溯的标准漏孔标定（1×10⁻⁷~1×10⁻¹¹ Pa·m³/s）