检测项目

氦质谱检漏仪灵敏度校准：基准灵敏度1×10^-12 Pa·m³/s

压力衰减测试：测试压力范围0.1-10MPa（绝对压力）

真空箱法漏率测定：背景本底≤5×10^-9 mbar·L/s

累积法泄漏量测量：最小可测漏率5×10^-7 cc/sec

示踪气体浓度分析：氦气浓度分辨率0.1ppm

检测范围

金属密封件：法兰接头/焊接管道/阀门组件

真空设备：分子泵腔体/低温冷阱/超高真空室

电子元器件：IGBT模块/光电器件封装体

能源装备：燃料电池双极板/储氢罐焊缝

半导体封装材料：陶瓷基板/金属引线框架

检测方法

ASTM E493-22：真空箱法氦质谱检漏标准流程

ISO 20486:2017：示踪气体法泄漏量定量分析规范

GB/T 15823-2019：氦泄漏检测方法国家标准

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测专章

ASTM E1603-19：压力变化法泄漏率计算导则

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：双通道质谱仪，最小可检漏率5×10^-13 mbar·L/s

Agilent VS Series：四极杆质谱系统，支持10^-4-10^-12 mbar动态范围

INFICON HLD5000：便携式检漏仪，响应时间＜3秒@1×10^-7 mbar·L/s

Pfeiffer ASM 340：全自动测试台集成真空系统与质量流量控制器

Varian 979系列：双级涡轮分子泵系统（抽速≥500L/s）