氦检漏仪检测

检测项目

泄漏率测试：灵敏度达1×10⁻¹² mbar·L/s（He），覆盖1×10⁻⁴至1×10⁻¹² mbar·L/s量程

真空密封性验证：系统极限真空度≤5×10⁻⁶ mbar

示踪气体浓度校准：氦气纯度≥99.999%，背景浓度≤1×10⁻⁹ mbar·L/s

响应时间测定：从泄漏发生到信号输出≤3秒（典型值）

压力循环耐受性测试：交替加载0.1-2.0 MPa压力循环≥500次

检测范围

真空设备：分子泵腔体、低温冷阱、真空阀门法兰

半导体组件：晶圆反应腔室、刻蚀机密封件、CVD管道

汽车零部件：燃料电池双极板、动力电池包壳体、空调制冷管路

医疗设备：MRI超导磁体杜瓦、血液透析器膜组件

航空航天部件：推进剂贮箱焊缝、舱门密封环、液压作动筒

检测方法

ASTM E493-22：质谱仪检漏法静态模式操作规范

ISO 20486:2017：氦质谱检漏技术通用要求与误差分析

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测章节

GB/T 34630-2017：真空技术 氦质谱检漏仪校准规范

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空罩法测试流程

检测设备

Pfeiffer ASM 340：四极杆质谱技术，最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s

Leybold PHOENIX L300i：集成自动校准模块，支持SNIFFER模式与真空模式切换

Aglient VS Series：双通道采集系统，可同步监测He/H₂混合示踪气体

Cincinnati 969-HELIUM：便携式设计，内置GPS定位数据记录功能

INFICON UL1000 Fab：半导体专用型，兼容300mm晶圆厂自动化对接接口

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"氦检漏仪检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。