检测项目

泄漏率测试：测量范围1×10^-9 Pa·m³/s至1×10^-12 Pa·m³/s

压力衰减测试：精度±0.05% FS（满量程），压力范围0.1-10 MPa

气体渗透量分析：灵敏度0.01 ppm·cm²/(s·Pa)

真空密封性验证：极限真空度≤5×10^-5 Pa

氦气残留浓度监测：检出限0.1 ppb（体积分数）

检测范围

金属材料：钛合金焊接件、铝合金压铸件、不锈钢真空腔体

高分子材料：氟塑料密封圈、橡胶隔膜、复合包装膜材

电子器件：半导体封装组件、锂电池外壳、IGBT功率模块

真空设备：低温泵密封单元、分子泵转子组件、真空阀门

工业装置：核级管道法兰、LNG储罐焊缝、航天器推进系统

检测方法

ASTM E499-2021：氦质谱示踪气体检漏法（正压模式）

ISO 20486:2017：真空系统泄漏率测定规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34637-2017：真空技术 氦质谱检漏仪校准方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空箱检漏规程

检测设备

氦质谱检漏仪（HX-105）：配备四级杆质谱分析器，最小可检漏率5×10^-13 Pa·m³/s

真空校准系统（VCS-2000）：内置双通道标准漏孔（1×10^-8/1×10^-10 Pa·m³/s）

自动充氦装置（AHF-300）：压力控制精度±0.5%设定值（0.1-2.5 MPa）

多工位测试舱（MTC-6D）：6通道并行测试能力，温度控制范围-40℃~150℃

数据采集系统（DAS-HL）：符合21 CFR Part 11规范的原始数据记录功能