检测项目

标准泄漏率阈值测定（1×10^-9 Pa·m³/s至1×10^-12 Pa·m³/s）

压力衰减速率测试（真空压力范围：10^-3 Pa至10⁵ Pa）

氦气本底浓度校准（分辨率≤0.1 ppm）

累积泄漏量计算（时间分辨率0.1秒）

温度补偿泄漏率换算（-40℃至150℃工况修正）

检测范围

真空设备密封组件：不锈钢法兰焊缝、陶瓷-金属封接件

航空航天部件：燃料贮箱焊缝、舱门密封圈、推进器阀门

核工业容器：乏燃料贮存罐体、主泵机械密封

电子元器件：MEMS封装外壳、高密度集成电路封装

医疗器械：人工心脏瓣膜、血液透析器膜组件

检测方法

ASTM E499/E499M-22 质谱仪示踪气体泄漏测试标准

ISO 20486:2017 泄漏检测系统校准规范

GB/T 12604.7-2021 无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34637-2017 真空技术 氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Article 10 承压设备真空箱法测试规程

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：双通道质谱检漏仪，最小可检漏率5×10^-13 Pa·m³/s

Agilent VS-Series：四极杆质谱系统，支持SNR≥100:1的本底抑制能力

INFICON UL1000 Fab：半导体级检漏台，集成自动压力循环模块

Pfeiffer HLT560：高真空氦检系统，配备双分子泵组（抽速2000 L/s）

Varian 979系列：宽量程离子源设计（10^-4至10^-12 mbar·L/s）