检测项目

纯度测定：≥99.999%（体积分数）

氧（O₂）含量：≤0.5 ppm

氮（N₂）含量：≤1.0 ppm

水分（H₂O）含量：≤1.5 ppm（露点≤-76℃）

氢（H₂）含量：≤0.1 ppm

总烃含量：≤0.5 ppm（以甲烷计）

二氧化碳（CO₂）含量：≤0.2 ppm

检测范围

高纯氦气（99.999%-99.9999%）

医用级氦气（呼吸用/核磁共振用）

工业用氦气（焊接保护/检漏气体）

电子级氦气（半导体制造/光纤生产）

科研用超纯氦气（低温实验/质谱载气）

检测方法

ASTM F2605-08(2021)：气相色谱法测定高纯氦中痕量杂质

ISO 11439:2013：可运输气体容器中氦气组分分析规范

GB/T 4844.3-2021：纯氦、高纯氦和超纯氦的医用级技术要求

GB/T 16942-2022：电子工业用气体中微量水分的测定

ASTM D7649-19：质谱法测定气体中痕量杂质的标准指南

ISO 8573-5:2001：压缩空气中颗粒物与蒸气杂质的激光粒子计数法

检测设备

Agilent 8890气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器系统，分辨率达0.01 ppm

Thermo Scientific ISQ 7000单四极杆质谱仪：质量范围1-1050 amu，检出限≤0.05 ppb

Michell S8000快速露点仪：测量范围-100℃~+20℃，精度±0.5℃

INFICON 3000微量氧分析仪：量程0-100 ppm，分辨率0.01 ppm

Siemens Maxum II工业色谱系统：支持在线连续监测模式，符合ATEX防爆认证

Horiba VA-3000多组分气体分析仪：同步测定O₂/N₂/H₂/CO₂等8种杂质组分