检测项目

表面粗糙度：Ra值范围0.1-5nm（白光干涉仪测量）

面形精度：PV值λ/20至λ/2（λ=632.8nm）

曲率半径偏差：±0.05%-±0.5%（干涉法测量）

透射率均匀性：波长400-1600nm范围内偏差≤±0.5%

反射率一致性：入射角0-60°时偏差≤±1.2%

局部缺陷尺寸：划痕宽度≤0.5μm，麻点直径≤10μm（100倍显微成像）

检测范围

光学玻璃：熔融石英、BK7、SF11等材质平面/球面样板

晶体材料：氟化钙（CaF2）、硅（Si）、锗（Ge）红外光学元件

光学塑料：PMMA、PC材质的非球面透镜模仁

金属镀膜基板：铝、银反射镜基底面形检测

复合光学材料：微结构阵列模板、衍射光学元件母版

检测方法

ISO 10110-8:2020 光学元件表面粗糙度评价规范

ASTM E903-20 材料太阳吸收率测试标准（透射/反射率测量）

GB/T 2831-2022 光学零件面形偏差检验方法

ISO 14997:2018 光学表面缺陷定量测试方法

GB/T 10988-2023 光学系统曲率半径测量规程

ISO 12123-2019 光学材料应力双折射测试标准

检测设备

Zygo Verifire™ HD激光干涉仪：波长632.8nm，面形精度分辨率λ/1000

Taylor Hobson PGI 840轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，水平分辨率1μm

Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：最大扫描范围10mm×10mm×2mm

Shimadzu UV-3600i Plus分光光度计：波长范围185-3300nm

Olympus MX63金相显微镜：最大放大倍数1500X，景深扩展成像功能

Trioptics OptiCentric®双中心测量仪：曲率半径测量范围±5mm至∞