检测项目

泄漏率阈值：1×10⁻⁶ ~ 1×10⁻¹² Pa·m³/s（按ASME BPVC Section V标准分级）

压力测试范围：真空模式（0.1~1000 Pa）与正压模式（0.1~40 MPa）

真空度维持能力：≤5%波动/小时（ISO 20486:2017 Class 1）

保压时间：15~600分钟（根据GB/T 34523-2017设定）

温度适应性：-50℃~+200℃（ASTM E493标准工况）

检测范围

金属密封件：核级阀门/法兰/管道焊缝（ASME III NB-6000规范）

半导体元件：晶圆封装/真空腔室/MOCVD反应器（SEMI F73-0708标准）

真空设备：低温泵/分子泵/真空镀膜机（ISO 21360-3:2019适用）

医疗器械：血液透析器/人工心肺机/高压氧舱（YY/T 0698.1-2021要求）

汽车部件：燃料电池双极板/动力电池包/空调冷媒管路（ISO 23828:2013规范）

检测方法

真空喷氦法（ASTM E499/E499M-22）：适用于封闭腔体整体泄漏率测试

吸枪扫描法（GB/T 12604.7-2021）：用于定位局部泄漏点位置

累积检漏法（ISO 20485:2017）：针对超低泄漏率产品的定量分析

背压加压法（JIS Z 2333:2016）：适用于含内腔复杂结构的渗透测试

示踪气体回收法（GB/T 34523-2017）：用于大容积容器的泄漏总量评估

检测设备

Agilent HDS 3010：四极杆质谱仪，最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s

Leybold PHOENIX L300i：集成真空系统与自动校准模块，支持双模式测试

INFICON UL1000 Fab：半导体专用机型，配备抗电磁干扰屏蔽舱体

Pfeiffer Vacuum ASM 340：移动式设备，内置GPS定位数据追溯系统

Varian 979系列：高真空涡轮分子泵组，极限真空度≤5×10⁻⁷ mbar