检测项目

密封性测试：压力范围0.1-10MPa，泄漏率阈值≤1×10⁻⁹ mbar·L/s

泄漏定位分析：空间分辨率≤0.5mm³/s

系统保压测试：压力衰减率≤0.05%/h

渗透率测定：材料厚度0.1-50mm时渗透系数≤1×10⁻¹² cm³·cm/(cm²·s·Pa)

真空度验证：极限真空≤5×10⁻⁷ mbar

循环压力测试：交变压力±15%额定值，循环次数≥500次

检测范围

真空设备：镀膜腔体、分子泵组、超高真空阀门

制冷系统：压缩机壳体、蒸发器管路、冷媒循环回路

汽车部件：燃料电池堆栈、动力电池包壳体、氢燃料储罐

医疗设备：血液透析机液路系统、灭菌包装袋

电子元件：半导体封装外壳、MEMS器件密封腔

检测方法

ASTM E499-20: Standard Practice for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode

ISO 20486:2017: Vacuum technology — Leak detection methods — Helium mass spectrometer leak detection

GB/T 12604.7-2021: 无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34632-2017: 真空技术 氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Article 10: Standard Test Method for Helium Leak Testing

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：检测下限5×10⁻¹² mbar·L/s，集成双通道质谱分析模块

ULVAC HELIOT 700系列：支持正压/负压双模式测试，响应时间＜0.5s

Agilent VSF-2240S：配备四极杆质量过滤器，质量数范围1-200amu

INFICON ECOTEC 3000：内置自动校准系统，测量精度±3%读数

Pfeiffer ASM 390 TSN：涡轮分子泵抽速290L/s，极限真空5×10⁻⁸ mbar