检测项目
光学均匀性偏差：≤0.5λ/cm（λ=632.8nm）
应力双折射值：≤2nm/cm
表面曲率半径误差：±0.05%
面形精度偏差：PV值≤λ/10
局部缺陷密度：≤3个/cm²（缺陷尺寸≥0.1mm）
检测范围
光学玻璃基板（K9、熔融石英等）
晶体材料（LiNbO₃、CaF₂等）
聚合物薄膜（PET、PC光学膜）
金属镀膜元件（Al/Ag反射镜）
陶瓷基板（Al₂O₃、SiC）
检测方法
ASTM F218-19：光学材料应力双折射测试
ISO 10110-5:2015：光学元件表面缺陷评估
GB/T 7962.1-2021：无色光学玻璃测试方法
ISO 14997:2018：光学表面缺陷检测规范
GB/T 2831-2009：光学零件面形偏差检验方法
检测设备
Zygo Verifire™ MST激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm
Trioptics OptiCentric®双光路测量系统：曲率半径测量精度±0.01mm
Hinds Instruments PEM-100光弹调制器：应力测量灵敏度0.1nm/cm
Mitutoyo SURFTEST SJ-410轮廓仪：Z轴分辨率1nm
Olympus LEXT OLS5000激光显微镜：横向分辨率0.12μm