检测项目
1. 表面粗糙度Ra(≤0.8μm，支撑网)
2. 最大高度Rz(≤6.3μm)
3. 轮廓平均间距RSm(0.2-0.5mm)
4. 表面微观不均匀性(±10%)
5. 滤材厚度对粗糙度影响(相关性系数R²≥0.95)
检测范围
1. 不锈钢支撑网：304/316L编织型
2. 玻璃纤维滤纸：HEPA级
3. PTFE覆膜滤料：微孔型
4. 聚酯熔喷滤材：F7-F9级
5. 钛粉烧结滤板：5μm精度
检测方法
1. GB/T 3505-2009 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数
2. GB/T 10610-2009 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 评定表面结构的规则和方法
3. ISO 4287:1997 产品几何量技术规范 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数
4. ASTM D7127-17 表面粗糙度测量的标准试验方法
5. GB/T 6062-2009 产品几何量技术规范 表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性
检测设备
1. 表面粗糙度仪(Mitutoyo SJ-410)：量程800μm，分辨率0.01μm
2. 白光干涉仪(Bruker ContourGT-K)：垂直分辨率0.1nm
3. 激光共聚焦显微镜(Keyence VK-X1000)：分辨率0.001μm
4. 触针式轮廓仪(Hommel T8000)：测针半径2μm
5. 扫描电子显微镜(JEOL JSM-7800F)：分辨率1nm
6. 原子力显微镜(Bruker Dimension Icon)：分辨率0.1nm
7. 厚度测厚仪(Mitutoyo 547-400)：精度0.001mm
8. 标准粗糙度比较样块(GB/T 6060.1)
9. 恒温恒湿试验箱(GDW-150)：温度23±2℃
10. 样品切割机(Struers Secotom-10)：精度0.01mm