氦捡漏检测

检测项目

密封性能测试：泄漏率阈值1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s

定量泄漏测试：测量范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁶ Pa·m³/s

压力循环测试：压力范围0.1~10MPa

真空维持测试：真空度≤1×10⁻³ Pa

局部泄漏定位：空间分辨率≤1mm

温度交变测试：-196℃~+300℃工况验证

检测范围

真空设备：真空腔体/阀门/分子泵组

压力容器：LNG储罐/高压管道/反应釜

半导体组件：晶圆反应室/密封封装件

医疗器械：人工心脏瓣膜/植入式传感器

汽车零部件：燃料电池堆/空调系统管路

检测方法

ASTM E493-22《静态顶空法氦泄漏测试》

ISO 20486:2017《氦质谱检漏仪校准规范》

GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》

GB 12359-2022《真空容器氦质谱检漏方法》

ASME BPVC Section V Article 10真空罩法

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s

INFICON UL1000：便携式设计带双通道质谱分析

Agilent ZQJ-530：工业级系统支持自动压力调节

Pfeiffer HX200：集成分子泵与机械泵双级真空系统

Edwards MSLD 3000：专用半导体行业无油洁净系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"氦捡漏检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。