检测项目
密封性能测试：泄漏率阈值1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s
定量泄漏测试：测量范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁶ Pa·m³/s
压力循环测试：压力范围0.1~10MPa
真空维持测试：真空度≤1×10⁻³ Pa
局部泄漏定位：空间分辨率≤1mm
温度交变测试：-196℃~+300℃工况验证
检测范围
真空设备：真空腔体/阀门/分子泵组
压力容器：LNG储罐/高压管道/反应釜
半导体组件：晶圆反应室/密封封装件
医疗器械：人工心脏瓣膜/植入式传感器
汽车零部件：燃料电池堆/空调系统管路
检测方法
ASTM E493-22《静态顶空法氦泄漏测试》
ISO 20486:2017《氦质谱检漏仪校准规范》
GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》
GB 12359-2022《真空容器氦质谱检漏方法》
ASME BPVC Section V Article 10真空罩法
检测设备
Leybold PHOENIX L300i：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s
INFICON UL1000：便携式设计带双通道质谱分析
Agilent ZQJ-530：工业级系统支持自动压力调节
Pfeiffer HX200：集成分子泵与机械泵双级真空系统
Edwards MSLD 3000：专用半导体行业无油洁净系统