检测项目

波前畸变（RMS值）：λ/50~λ/2（λ=632.8nm）

曲率半径偏差：±0.1%~±5%

非球面系数误差：±0.0001~±0.01

局部斜率偏差：≤0.1μrad/mm

表面粗糙度（Ra）：0.5nm~10nm

检测范围

光学玻璃：熔融石英、BK7、SF11等透镜/棱镜

晶体材料：氟化钙（CaF2）、硅（Si）、锗（Ge）红外元件

金属反射镜：铝合金、铍铜合金超精密加工件

聚合物薄膜：PET/PC光学扩散膜

复合镀层：多层介质膜/金属膜光学元件

检测方法

ISO 10110-5:2015 光学元件波前畸变测试规范

ASTM E2175-01(2021) 激光干涉面形测量标准

GB/T 13752-2021 光学非球面测量方法

ISO 14999-4:2015 光学元件相位测量技术要求

GB/T 31370.3-2020 光电子器件测试规程第3部分：波前传感

检测设备

Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm PV值

Taylor Hobson CCI HD非接触式轮廓仪：横向分辨率1μm

4D Technology PhaseCam 6000动态干涉系统：采样率5000帧/秒

Trioptics OptiCentric双光路对准系统：同轴度误差≤±2μm

Keysight 5500激光干涉仪：最大测量口径Φ500mm