检测项目

等离子体密度：1×10^9~1×10^12 cm^-3

电子温度：1~5 eV

气体温度：300~600 K

离子能量分布：10~100 eV

表面接触角变化：20°~120°

自由基浓度：1×10^14~1×10^16 cm^-3

检测范围

高分子材料：聚乙烯(PE)、聚四氟乙烯(PTFE)

金属材料：钛合金、不锈钢

医疗器械：导管、植入物

电子元件：半导体晶圆、柔性电路板

纺织品：功能性纤维织物

检测方法

ASTM D7334-08 表面润湿性测定

ISO 14624-5 等离子体发射光谱分析

GB/T 16594-2008 微米级长度扫描电镜法

ASTM E3061-17 等离子体诊断规程

GB/T 39234-2020 表面自由基浓度测定

ISO 21237:2019 低温等离子体工艺验证

检测设备

Langmuir探针系统（ESPion-200）：实时测量电子温度与密度

光学发射光谱仪（AvaSpec-ULS2048CL）：分析激发态粒子组成

接触角测量仪（OCA25）：表面能变化定量分析

四极质谱仪（Hiden HPR-60）：气体成分在线监测

原子力显微镜（Bruker Dimension Icon）：纳米级表面形貌表征

X射线光电子能谱仪（Thermo Scientific K-Alpha+）：化学键态分析