低温等离子检测

检测项目

等离子体密度：1×10^9~1×10^12 cm^-3

电子温度：1~5 eV

气体温度：300~600 K

离子能量分布：10~100 eV

表面接触角变化：20°~120°

自由基浓度：1×10^14~1×10^16 cm^-3

检测范围

高分子材料：聚乙烯(PE)、聚四氟乙烯(PTFE)

金属材料：钛合金、不锈钢

医疗器械：导管、植入物

电子元件：半导体晶圆、柔性电路板

纺织品：功能性纤维织物

检测方法

ASTM D7334-08 表面润湿性测定

ISO 14624-5 等离子体发射光谱分析

GB/T 16594-2008 微米级长度扫描电镜法

ASTM E3061-17 等离子体诊断规程

GB/T 39234-2020 表面自由基浓度测定

ISO 21237:2019 低温等离子体工艺验证

检测设备

Langmuir探针系统（ESPion-200）：实时测量电子温度与密度

光学发射光谱仪（AvaSpec-ULS2048CL）：分析激发态粒子组成

接触角测量仪（OCA25）：表面能变化定量分析

四极质谱仪（Hiden HPR-60）：气体成分在线监测

原子力显微镜（Bruker Dimension Icon）：纳米级表面形貌表征

X射线光电子能谱仪（Thermo Scientific K-Alpha+）：化学键态分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"低温等离子检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。