检测项目

温度均匀性：工作区温差≤±5℃（室温至2000℃）

真空系统泄漏率：≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s（动态测试）

电子束流稳定性：波动范围≤±1%（额定功率下持续4小时）

冷却系统效率：循环水温升≤5℃（满负荷运行工况）

材料表面污染度：碳氧含量≤50ppm（二次离子质谱分析）

检测范围

高温合金部件：航空发动机叶片、涡轮盘等热端部件

半导体材料：硅晶圆掺杂层、化合物半导体外延层

陶瓷基复合材料：碳化硅纤维增强陶瓷构件

金属粉末制品：3D打印用钛合金球形粉末

光学镀膜材料：高反射率金属-介质复合膜层

检测方法

ASTM E1461-22：动态热流法测定热扩散率

ISO 18558:2019：真空系统泄漏率四极质谱法

GB/T 13303-2020：高温合金显微组织评级标准

GB 5231-2021：铜及铜合金化学分析方法

ISO 14705:2016：非金属材料表面污染XPS测试法

检测设备

Thermo Scientific X650系列红外测温系统：多点同步测温精度±0.3%FS

Agilent UHV-24F复合真空计组：量程覆盖1×10⁻¹⁰至1×10³ Pa全压测量

Keysight B2900A精密源表：电子枪电流稳定性监测分辨率0.01%

Malvern Panalytical Empyrean XRD：晶体结构分析角度重复性±0.0001°

PerkinElmer TGA 8000热重分析仪：控温精度±0.5℃（RT-1600℃）