检测项目

真空系统泄漏率测定（≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s）

密封容器累积泄漏量测试（≤5×10⁻⁶ mbar·L/s）

焊接接头局部泄漏定位（分辨率≤0.1 mm）

多孔材料渗透率评估（氦气流量≤1×10⁻⁷ mbar·L/s）

高低温交变环境密封性能验证（-196℃~300℃工况）

检测范围

航空航天：燃料贮箱、舱门密封件、推进器管路

半导体制造：晶圆传输腔体、刻蚀反应室、真空阀门

医疗器械：血液透析器、植入式传感器、无菌包装

新能源电池：燃料电池双极板、锂电封装壳体

工业设备：制冷压缩机、液压传动系统、核级阀门

检测方法

ASTM E499-11(2021)：静态顶空法氦泄漏测试规程

ISO 20485:2017：真空罩法氦质谱检漏实施指南

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34632-2017：真空技术-氦质谱检漏仪校准规范

ASME BPVC Section V Article 10：承压设备氦检标准

检测设备

Pfeiffer ASM 340：四极杆质谱仪，检测限5×10⁻¹³ mbar·L/s，集成双通道进气系统

Agilent 9900：宽量程检漏仪（10⁻⁴~10⁻¹² mbar·L/s），支持正/负压双模式测试

Leybold Phoenix L300i：全自动扫描枪系统，响应时间＜0.5s@1×10⁻⁶ mbar·L/s

INFICON UL1000：便携式检漏仪，内置GPS定位与数据追溯模块

Cincinnati Test VGD-200：真空发生器+质谱联用系统，适用大容积工件快速抽空