检测项目

载流子迁移率测量：分辨率0.01 cm²/(V·s)，量程10⁻⁵-10³ cm²/(V·s)

介质弛豫时间测定：精度±5 ps，测试频率1 kHz-10 MHz

脉冲响应特性分析：上升时间测量范围100 ps-10 μs

空间电荷分布检测：空间分辨率≤5 μm，电压范围±20 kV

陷阱能级深度计算：能量分辨率0.01 eV，温度范围77-500 K

检测范围

半导体材料：硅晶圆、GaN外延片、碳化硅衬底

绝缘介质：环氧树脂复合材料、聚酰亚胺薄膜

导电高分子：PEDOT:PSS薄膜、聚苯胺纤维

储能器件：超级电容器电极材料、锂离子电池隔膜

光电元件：光伏组件封装材料、OLED空穴传输层

检测方法

ASTM D257-14：绝缘材料直流电阻率测试规范

ISO 1853:2018：导电橡胶体积电阻率测定方法

GB/T 1410-2006：固体绝缘材料体积电阻试验方法

IEC 62631-3-1:2016：介质材料介电性能测试标准

GB/T 17651.2-2021：电缆光缆燃烧特性试验方法

检测设备

Keysight B1500A半导体参数分析仪：支持10 μV-200 V电压输出，最小电流分辨率0.1 fA

Tektronix DPO70000SX示波器：70 GHz带宽，200 GS/s采样率

Keithley 4200A-SCS参数测试系统：集成IV/CV/脉冲测试模块

Agilent 4294A阻抗分析仪：频率范围40 Hz-110 MHz，基本精度±0.08%

HIOKI IM3590化学阻抗分析仪：支持10 μHz-200 kHz宽频测量