检测项目

载流子迁移率测量:分辨率0.01 cm²/(V·s),量程10⁻⁵-10³ cm²/(V·s)

介质弛豫时间测定:精度±5 ps,测试频率1 kHz-10 MHz

脉冲响应特性分析:上升时间测量范围100 ps-10 μs

空间电荷分布检测:空间分辨率≤5 μm,电压范围±20 kV

陷阱能级深度计算:能量分辨率0.01 eV,温度范围77-500 K

检测范围

半导体材料:硅晶圆、GaN外延片、碳化硅衬底

绝缘介质:环氧树脂复合材料、聚酰亚胺薄膜

导电高分子:PEDOT:PSS薄膜、聚苯胺纤维

储能器件:超级电容器电极材料、锂离子电池隔膜

光电元件:光伏组件封装材料、OLED空穴传输层

检测方法

ASTM D257-14:绝缘材料直流电阻率测试规范

ISO 1853:2018:导电橡胶体积电阻率测定方法

GB/T 1410-2006:固体绝缘材料体积电阻试验方法

IEC 62631-3-1:2016:介质材料介电性能测试标准

GB/T 17651.2-2021:电缆光缆燃烧特性试验方法

检测设备

Keysight B1500A半导体参数分析仪:支持10 μV-200 V电压输出,最小电流分辨率0.1 fA

Tektronix DPO70000SX示波器:70 GHz带宽,200 GS/s采样率

Keithley 4200A-SCS参数测试系统:集成IV/CV/脉冲测试模块

Agilent 4294A阻抗分析仪:频率范围40 Hz-110 MHz,基本精度±0.08%

HIOKI IM3590化学阻抗分析仪:支持10 μHz-200 kHz宽频测量