检测项目

表面粗糙度（Ra）：测量范围0.01-25μm，分辨率0.1nm

波纹度（Wt）：波长0.1-10mm，振幅精度±5%

轮廓曲率半径（R）：测量范围0.1-1000mm，误差≤±2%

微观缺陷深度（D）：检测阈值≥50nm

三维形貌参数（Sa/Sq/Sz）：采样面积1×1mm至100×100mm

功率谱密度（PSD）：空间频率范围10^-3-10^3 μm^-1

检测范围

金属材料：铝合金、钛合金等精密加工件

光学元件：透镜、反射镜等镀膜表面

半导体晶圆：硅片、GaAs基板等

高分子材料：医用导管、光学薄膜等

精密模具：注塑模、压铸模成型面

检测方法

接触式轮廓法：ASTM E1217-21/GB/T 3505-2021

白光干涉法：ISO 25178-2:2022/GB/T 39489-2020

原子力显微术：ISO 11039:2012/ASTM E2859-11(2020)

激光共聚焦法：ISO 25178-6:2010/GB/T 39490-2020

数字全息术：ASTM F3294-18/GB/T 10610-2018

检测设备

Taylor Hobson PGI 3D：接触式三维轮廓仪，Z轴分辨率0.1nm

Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，最大扫描面积10×10mm

Mitutoyo Surftest SJ-410：接触式粗糙度仪，评估长度0.25-12.5mm

Keyence VR-5000：激光共聚焦显微镜，XY分辨率120nm

Zygo NewView 9000：相移干涉仪，垂直分辨率0.1nm