检测项目

元素成分分析：能量分辨率0.1-1.0 eV，探测限≤0.5 at%

化学态识别：能量偏移量±5 eV精度，配位数解析误差＜10%

样品厚度测量：对数强度比法（t/λ≤1），误差范围±5 nm

等离子体激元分析：动量分辨模式（q=0.1-5 Å⁻¹），能量范围15-50 eV

能带结构表征：能量损失近边结构（ELNES）解析度0.3 eV

检测范围

半导体材料：硅基器件、III-V族化合物异质结

纳米材料：碳纳米管、二维材料（石墨烯/MoS₂）

催化剂：负载型金属颗粒（Pt/C, Co-Mo-S）

生物样品：冷冻固定细胞切片、病毒颗粒

金属合金：高熵合金相界面、析出相成分梯度

检测方法

ASTM E1508-20: 微区成分分析的标准化流程

ISO 22309:2023: 定量分析的能谱数据处理规范

GB/T 17359-2022: 微束分析通用技术条件

GB/T 28634-2023: 透射电镜电子能量损失谱分析方法

ISO 21363:2021: 纳米颗粒尺寸分布测定方法

检测设备

TFS Spectra Ultra EELS：Thermo Fisher Scientific生产，配备双色差矫正系统，能量分辨率0.12 eV@60 keV

Gatan Enfinium ER 975：低温冷阱设计，动态范围10⁶:1，支持单色器模式采集

JEOL JEM-ARM300F：原子分辨率STEM-EELS系统，探针电流≥50 pA

Nion HERMES-200：超高能量分辨率(＜30 meV)单色仪系统

Bruker QUANTAX EELS：集成能谱成像系统，最大采集速率1000 spectra/s