检测项目
纯度测定:氪气体积分数≥99.995%(高纯级)至≥99.999%(超纯级)
氧气(O₂)含量:≤5 ppm(超纯级)
氮气(N₂)含量:≤10 ppm(电子级)
水分(H₂O)含量:≤3 ppm(工业级)
总烃类杂质:≤1 ppm(激光应用级)
密度测定:3.749 g/L(标准条件下)
检测范围
特种照明气体:用于高压气体放电灯填充介质
激光器工作气体:准分子激光器KrF/ArF混合气
半导体制造保护气:晶圆加工惰性环境气体
医疗成像气体:MRI设备冷却系统工质
科研标定气体:质谱仪校准用标准物质
检测方法
气相色谱法:ASTM D1945-14《气相色谱法分析天然气及类似气体混合物》
质谱分析法:ISO 6974-6《天然气-成分测定-第6部分:氦、氖、氩、氪等测定》
红外光谱法:GB/T 8981-2008《气体中微量水分的测定》
检测设备
气相色谱仪Agilent 7890B:配备TCD检测器,分辨率0.1 ppm