检测项目

光栅周期精度检测：±0.1μm偏差容限

槽深均匀性检测：深度误差≤2%

占空比一致性检测：±3%允许范围

衍射效率测试：一级衍射效率≥80%

表面粗糙度分析：Ra≤5nm@10×10μm区域

线宽均匀性检测：横向偏差≤±50nm

检测范围

熔融石英基二元光学光栅

硅基微纳结构衍射光栅

金属薄膜浮雕光栅（Al/Cu/Au）

聚合物微结构光栅（PMMA/SU-8）

复合介质光栅（TiO2/SiO2多层堆栈）

检测方法

ASTM E903-20 材料光谱吸收率测试法

ISO 10110-8:2020 光学元件表面形貌检测

GB/T 13811-2019 光学零件表面粗糙度测定

ISO 14999-4:2015 光学元件波前畸变检测

GB/T 13334-2018 衍射光学元件参数测量方法

检测设备

Zygo NewView 9000 三维表面形貌仪：0.1nm垂直分辨率

Bruker Contour Elite 白光干涉仪：50μm×50μm扫描范围

ZYGO GPI-XP 激光干涉仪：λ/1000波前精度

Ocean Optics HR4000 高分辨率光谱仪：0.2nm光谱分辨率

JEOL JSM-IT800 场发射扫描电镜：1nm成像分辨率