检测项目

表面粗糙度检测：Ra（0.01~10μm）、Rz（0.1~50μm）

平面度公差检测：公差范围±0.5~50μm/m²

微观形貌缺陷检测：划痕深度（≤5μm）、凹坑直径（10~500μm）

镀层/涂层厚度检测：厚度范围0.1~200μm

表面残余应力分析：应力值范围-2000~2000MPa

检测范围

金属材料：铝合金、钛合金、不锈钢等

高分子材料：工程塑料、橡胶密封件、复合材料

精密光学元件：透镜、棱镜、滤光片

电子元件：半导体晶圆、PCB基板、封装材料

陶瓷材料：氧化铝、碳化硅、氮化硅基材

检测方法

ASTM D7127-13：非接触式表面轮廓测量标准

ISO 25178-2:2022：表面纹理三维表征方法

GB/T 29552-2013：玻璃表面缺陷检测规范

ISO 4287:1997：表面粗糙度参数定义与测量

GB/T 11337-2004：平面度误差检测通则

检测设备

Zygo Nexview NX2：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm，用于纳米级表面形貌分析

Olympus LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，Z轴重复性±10nm，支持3D粗糙度测量

Bruker ContourGT-X8：三维光学轮廓仪，扫描速度50μm/s，适用大面积表面检测

Mitutoyo SJ-410：接触式表面粗糙度仪，测量范围Ra 0.01~50μm，符合ISO 1997标准

Xstress 3000 G3R：X射线残余应力分析仪，测量精度±20MPa，支持多层材料检测