检测项目

表面电荷密度检测：测量范围0.1-1000 μC/m²，分辨率±0.05 μC/m²

介电常数测试：频率范围1 MHz-10 GHz，误差≤±1%

电场强度分布：空间分辨率10 μm，动态范围0.1-100 kV/m

电荷弛豫时间：时间范围1 ns-10 s，温度控制±0.5℃

电磁屏蔽效能：频率30 MHz-6 GHz，动态范围≥60 dB

检测范围

高分子绝缘材料：如聚四氟乙烯（PTFE）、聚酰亚胺薄膜

半导体器件：包括晶圆、功率模块及封装材料

金属镀层材料：电镀锌、阳极氧化铝等表面处理层

功能陶瓷材料：压电陶瓷、微波介质陶瓷

生物医学材料：植入式电极、医用高分子导管

检测方法

ASTM D150：固体电绝缘材料介电常数测试标准

IEC 60093：绝缘材料表面电阻率测定方法

GB/T 11297.11：激光散斑法测量材料表面电荷分布

ISO 1853：导电橡胶体积电阻率测试规程

GB/T 17626.2：电磁兼容性（EMC）静电放电抗扰度试验

检测设备

Keysight B1505A功率器件分析仪：支持0.1 fA-10 A电流测量，最高电压3000 V

Trek Model 347静电计：分辨率0.1 pC，带宽DC-100 kHz

CET EMCO 3106电磁屏蔽室：30 MHz-18 GHz频段，屏蔽效能≥100 dB

Agilent 4294A阻抗分析仪：频率范围40 Hz-110 MHz，基本精度±0.08%

Keithley 6517B高阻计：可测电阻范围10 Ω-10 PΩ，内置1000 V电压源