检测项目

元素定量分析：检测精度±0.01%，检测限0.1ppm，重复性RSD≤1.5%

化学成分鉴定：波长范围190-900nm，分辨率≤0.05nm，信噪比≥1000:1

表面成分检测：深度分辨率5nm，元素分布成像精度±2μm

薄膜厚度测量：测量范围10nm-50μm，精度±1.5%

光学性能分析：透射率测量误差≤0.5%，反射率角度偏差±0.1°

检测范围

金属材料：铝合金、不锈钢、钛合金等金属铸件

半导体材料：硅晶圆、GaN外延片、光刻胶涂层

环境样品：土壤重金属、水质污染物、大气颗粒物

生物医药：药物活性成分、生物组织微量元素

石油化工：油品硫含量、聚合物添加剂、催化剂成分

检测方法

ICP-OES法：ASTM E1621-22，GB/T 223.5-2020

X射线荧光法：ISO 3497:2020，GB/T 16597-2019

原子吸收光谱法：ISO 15586:2003，GB/T 9723-2007

拉曼光谱法：ASTM E1840-96(2021)，GB/T 36065-2018

紫外可见光谱法：ISO 11348-1:2021，GB/T 26798-2022

检测设备

Thermo Fisher iCAP 7400：ICP-OES系统，配备CID86检测器，支持72种元素同步分析

PerkinElmer Optima 8300：全谱直读光谱仪，波长范围165-782nm，检测速度每分钟20个样品

Shimadzu EDX-7000：能量色散X射线荧光仪，配备Rh靶X光管，检测元素范围Na-U

Bruker SENTERRA II：共焦拉曼光谱仪，空间分辨率1μm，光谱范围50-9300cm⁻¹

Agilent Cary 7000：紫外可见近红外分光光度计，波长范围175-3300nm，积分球直径150mm