检测项目
分辨率检测：最小可识别光栅间距≤0.1μm
线性度误差检测：误差范围±0.5%（全量程）
灵敏度阈值检测：最低可测照度0.05 lx
重复性检测：多次测量偏差≤±0.2%
动态范围检测：最大信噪比≥60 dB
检测范围
光学玻璃：包括冕牌玻璃、火石玻璃等透光材料
半导体晶圆：硅、砷化镓等基片表面光学特性
薄膜材料：光学增透膜、反射膜厚度及均匀性
光学涂层：耐候性涂层的透射/反射率衰减
光电传感器：CMOS/CCD器件的量子效率曲线
检测方法
ASTM E903-20：材料透射率光谱分析法
ISO 13696:2002：光学元件散射特性测试
GB/T 26397-2011：光学玻璃均匀性干涉测量法
ISO 10110-5:2015：光学系统像差公差评价
GB/T 13323-2009：光电探测器响应度校准规范
检测设备
Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/100
Bruker ContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
PerkinElmer Lambda 1050分光光度计：波长范围175-3300nm
Hamamatsu C12132积分球系统：光度测量精度±0.8%
Polytec PSV-500激光测振仪：频响范围0.5Hz-25MHz