检测项目
反射率偏差检测：波长范围250-2500nm，角度偏差±0.1°
环面平整度检测：表面粗糙度Ra≤0.02μm，平面度误差≤λ/10
材料成分分析：元素含量误差≤0.5wt%，镀层厚度检测精度±2nm
抗环境老化性能：温度循环(-40℃~+85℃)，湿度测试95%RH@500h
光学均匀性检测：折射率偏差Δn≤5×10⁻⁶，应力双折射≤2nm/cm
检测范围
高精度光学玻璃基材
金属镀膜反射环组件
高分子复合增反材料
半导体晶圆背反射层
特种陶瓷基反射器件
检测方法
ASTM E903-20 材料太阳反射比测试
ISO 13696:2002 光学元件散射特性测定
GB/T 26333-2010 光学薄膜折射率测试方法
ISO 17331:2017 表面化学分析-硅片表面元素测定
GB/T 22453-2008 光学零件面形误差检验
检测设备
PerkinElmer Lambda 1050+分光光度计：波长范围175-3300nm，分辨率0.05nm
Bruker DektakXT表面轮廓仪：垂直分辨率0.1Å，扫描长度200mm
Thermo Scientific Apreo 2 SEM：分辨率0.6nm@30kV，EDS检测限0.1wt%
ZYGO Verifire MST干涉仪：测量精度λ/1000，孔径Φ300mm
Espec SH-642温湿度试验箱：温度范围-70~+150℃，变温速率15℃/min