检测项目

灵敏系数：测量输入应变与电阻变化率比值，范围100-200

电阻值：标称阻值偏差检测，精度±0.1%（120Ω/350Ω/1000Ω）

温度特性：-50°C至+200°C范围内温度系数测试，允差±0.02%/°C

线性度：满量程应变下非线性误差≤0.5%FS

疲劳寿命：10^6次循环应变后性能衰减≤3%

检测范围

硅基半导体应变片（掺杂浓度1e15-1e19 atoms/cm³）

金属薄膜应变片（厚度0.1-5μm）

碳纤维复合材料应变片（铺层角度0°-90°）

高温环境用Al₂O₃封装应变片（工作温度≤600°C）

微型MEMS应变片（敏感栅尺寸50-500μm）

检测方法

ASTM E251-92: 电阻应变片性能测试标准方法

ISO 4965: 高温应变测量系统校准规范

GB/T 34898-2017: 微机电系统（MEMS）传感器测试方法

GB/T 13992-2020: 金属箔式应变计技术条件

IEC 62047-22: 半导体器件微机电装置第22部分：应变测试规范

检测设备

Keysight 34461A数字万用表：电阻测量分辨率0.001Ω

MTS Criterion系列万能试验机：加载精度±0.5%，频率范围0-100Hz

ESPEC T-240高低温试验箱：温控精度±0.3°C，变温速率5°C/min

Polytec MSA-600微系统分析仪：位移分辨率0.1nm，应变测量精度±0.5με

HBM QuantumX MX840B数据采集系统：采样率200kHz，24位ADC精度