检测项目

晶界扩散激活能测定(温度范围:800-1600℃,精度±5 kJ/mol)

晶界扩散系数测量(Dgb,量级10-16~10-12 m²/s)

晶界迁移速率分析(速度范围0.1-100 μm/h)

晶界偏聚浓度检测(元素浓度偏差±0.1 at.%)

晶界缺陷密度表征(分辨率≤10 nm)

检测范围

高温合金:镍基/钴基超合金、耐热钢

结构陶瓷:Al2O3、Si3N4、ZrO2

半导体材料:单晶硅、GaN、SiC晶圆

金属间化合物:TiAl、Ni3Al、FeAl

纳米晶材料:纳米铜、纳米氧化锌复合材料

检测方法

ASTM E112-13:晶粒度测定与统计分析方法

ISO 20166:2017:高温晶界扩散同位素示踪法

GB/T 13305-2008:金属材料晶界特性电子背散射衍射检测

ASTM E1351-01(2016):晶界扩散激活能测定标准指南

GB/T 32496-2016:金属材料晶界元素偏析的俄歇能谱分析法

检测设备

场发射扫描电镜:Zeiss GeminiSEM 500,配备Oxford EBSD探测器

二次离子质谱仪:CAMECA IMS 7f-auto,深度分辨率0.5 nm

高温原位透射电镜:FEI Titan G2 80-300,最高温度1300℃

激光共聚焦显微镜:Olympus LEXT OLS5000,Z轴分辨率10 nm

原子探针层析仪:CAMECA LEAP 5000 XR,质量分辨率m/Δm≥2000