检测项目

孔径偏差检测：公差范围±0.005mm，多级孔径重复定位精度≤0.002mm

圆度误差分析：轮廓径向跳动量≤0.003mm，椭圆度偏差≤0.1μm

表面粗糙度测量：Ra≤0.2μm，Rz≤1.6μm（激光共聚焦显微镜）

镀膜层厚度检测：膜层均匀性误差≤±3%，附着力测试≥5B级

材料硬度测试：显微维氏硬度HV0.3≥800（钨钢材质）

环境适应性验证：工作温度-50℃~+200℃，湿度循环95%RH@48h

检测范围

金属光阑：不锈钢（SUS304/316）、硬质合金（WC-Co）

陶瓷光阑：氧化铝（Al₂O₃ 99.5%）、氮化硅（Si₃N₄）

聚合物光阑：聚酰亚胺（PI）、聚醚醚酮（PEEK）

复合光阑：碳纤维增强陶瓷基（C/SiC）

光学涂层光阑：类金刚石薄膜（DLC）、二氧化硅保护膜

检测方法

孔径检测：ISO 10110-8:2020《光学元件孔径公差》

表面粗糙度：ASTM D7127-17《非接触式表面形貌测量》

镀膜性能：GB/T 31370.2-2015《光学薄膜耐久性试验方法》

材料硬度：GB/T 4340.1-2009《金属维氏硬度试验》

环境试验：GJB 150.9A-2009《湿热试验方法》

圆度测量：ISO 12180-2:2011《圆柱度几何公差》

检测设备

三坐标测量机：Zeiss Prismo Ultra 7.10.7，测量精度0.6μm+L/400

激光共聚焦显微镜：Olympus LEXT OLS5000，Z轴分辨率1nm

椭圆偏振仪：J.A. Woollam M-2000UI，膜厚测量精度±0.1nm

显微硬度计：Wilson Hardness HM-200，载荷范围10gf-2kgf

环境试验箱：ESPEC TABAI LU-124，温控精度±0.5℃

圆度测量仪：Taylor Hobson Talyrond 585，径向分辨率0.8nm