检测项目

主成分含量：氟磺酸（HSO3F）纯度≥99.5%（w/w）

游离硫酸（H2SO4）：≤0.3%（电位滴定法）

水分含量：≤200ppm（卡尔费休库仑法）

重金属总量（以Pb计）：≤5ppm（ICP-OES法）

热稳定性测试：200℃/4h分解率≤0.5%

检测范围

工业级氟磺酸原料（纯度≥98%）

电子级高纯氟磺酸（半导体蚀刻液）

医药中间体合成用氟磺酸试剂

电镀液体系中的氟磺酸添加剂

实验室自制氟磺酸溶液（浓度5%-40%）

检测方法

ASTM E291-18：酸碱滴定法测定总酸度

ISO 17034:2016：离子色谱法测定硫酸根含量

GB/T 6324.8-2021：卡尔费休法测定微量水分

GB/T 23947.3-2020：电感耦合等离子体光谱法测定金属杂质

ISO 11357-3:2018：差示扫描量热法评估热稳定性

检测设备

Thermo Scientific Dionex ICS-6000离子色谱仪：分辨率≤0.1ppm阴离子分析

Metrohm 905 Titrando电位滴定仪：精度±0.02mL的自动滴定系统

Mettler Toledo C30S卡尔费休水分仪：检测下限1ppm水含量

PerkinElmer Avio 550 ICP-OES：多元素同步分析系统

TA Instruments Q2000 DSC：温度精度±0.1℃的热分析仪