检测项目

狭缝宽度精度检测：测量范围0.1-5000μm，误差≤±0.5%

狭缝边缘直线度检测：允许偏差≤0.2μm/mm

透射光均匀性检测：光强分布不均匀性≤3%

波长分辨率验证：半峰宽（FWHM）≤0.1nm@546.1nm

机械重复性测试：100次开合循环后宽度变化≤0.3μm

检测范围

紫外-可见分光光度计入射/出射狭缝组件

傅里叶变换红外光谱仪可调狭缝模块

单色仪固定式金属狭缝组件

激光光谱分析系统微米级精密狭缝

X射线荧光光谱仪准直狭缝阵列

检测方法

ASTM E275-08(2017)：紫外可见分光光度计性能验证标准

ISO 19214:2015：光学仪器狭缝系统几何特性测试方法

GB/T 2679-2021：光学分光元件基本参数测试规范

ISO 11151-1:2015：激光系统光学元件测试通则

GB/T 30455-2013：傅里叶变换红外光谱仪技术要求

检测设备

Zygo NewView 9000白光干涉仪：三维形貌测量精度0.1nm

Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

Spectral Products DK480单色仪系统：波长校准精度±0.02nm

Newport 1936-C光功率计：动态范围0.1pW-2W

Aerotech ABL1500精密运动平台：定位重复性±50nrad