检测项目

角度偏差：测量范围±0.001°~±5°，分辨率0.0001°

表面粗糙度：Ra值0.01~1.6μm

边缘直线度误差：允差≤0.005mm/m

晶面夹角一致性：重复性误差≤0.002°

棱镜顶角精度：公差等级AA级（±3″）至B级（±30″）

检测范围

单晶/多晶材料：石英晶体、蓝宝石衬底

光学元件：棱镜、透镜、分光镜

半导体材料：硅片、碳化硅晶圆

激光晶体：Nd:YAG晶体、钛宝石晶体

工业陶瓷：氧化铝陶瓷基板、氮化硅轴承球

检测方法

ISO 14978:2018《几何产品规范基础》

GB/T 11336-2021《直线度误差检测》

检测设备

功能：全自动圆度/圆柱度测量仪，角度分辨率0.00001°

功能：三维光学轮廓仪，垂直分辨率0.1nm

功能：高精度测角仪，测量范围360°，重复精度±0.2″

功能：激光干涉仪系统，平面度测量精度λ/20（λ=632.8nm）

功能：三坐标测量机，空间精度(0.6+L/600)μm