电子透镜检测

检测项目

分辨率测试：空间频率≥200 lp/mm（线对/毫米），MTF值≥0.6@100 lp/mm

表面形貌分析：粗糙度Ra≤0.8 nm（RMS值），面形精度PV≤λ/10（λ=632.8 nm）

透射率测量：可见光波段（400-700 nm）平均透射率≥99.2%

畸变率检测：径向畸变≤0.05%，切向畸变≤0.03%

环境耐受性：温度循环（-50℃~+120℃）500次后性能衰减＜3%

检测范围

光学玻璃透镜（BK7、Fused Silica等）

树脂基非球面镜片（CR-39、PC材料）

半导体光刻用投影透镜组

红外硫系玻璃透镜（Ge₂₀Sb₁₅S₆₅等）

金属镀膜反射式电子透镜

检测方法

ISO 9334:2012 光学系统畸变测试方法

ASTM E112-13 晶粒度测定与图像分析法

GB/T 26331-2010 光学透射率测量规范

ISO 10110-5:2015 表面缺陷公差标注标准

GB/T 7661-2009 光学零件面形误差检验方法

检测设备

Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000 PV值测量

Cary 7000紫外可见分光光度计：光谱范围175-3300nm，分辨率0.05nm

TRIOPTics OptiCentric双轴偏心仪：角度分辨率0.1arcsec

Mitutoyo PH-3500投影仪：放大倍率50X-500X，重复精度±0.5μm

Aberlink Croma三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm（L单位mm）