检测项目

线性度偏差：测量范围±10V内梯度变化≤0.003%FS

温度系数稳定性：-40℃~85℃环境下偏移量≤±2ppm/℃

重复性误差：连续10次测量标准差≤0.0015%

零点漂移量：24小时基准值波动≤±0.005%

频率响应特性：0.1Hz~10kHz相位延迟≤1μs

检测范围

高精度光学编码器（玻璃/陶瓷基材）

MEMS惯性传感器（硅基复合材料）

工业级应变片（康铜/卡玛合金箔材）

激光干涉仪反射组件（石英/微晶玻璃）

电容式位移传感器（氧化铝陶瓷电极）

检测方法

ASTM E2309-05(2020)：温度循环测试规程

ISO 5725-2:2019 测量系统重复性与再现性分析

GB/T 18459-2018 传感器静态特性标定方法

IEC 60751:2022 铂电阻温度计校准规范

JJG 391-2009 力传感器检定规程

检测设备

Keysight 34972A数据采集系统：支持22位分辨率/0.0024%基本精度

Fluke 724温度校准炉：温控精度±0.01℃@300℃

Tektronix AFG31000函数发生器：输出频率稳定性≤1ppm/年

Sartorius CPA225D分析天平：最小分度值0.01mg/最大220g

Renishaw XL-80激光干涉仪：线性测量精度±0.5ppm@40m