检测项目

纯度分析：≥99.999%（体积分数）

氧含量：≤0.5 ppm（μL/L）

氮含量：≤1.0 ppm（μL/L）

水分含量：≤1.5 ppm（露点≤-76℃）

总烃含量：≤0.5 ppm（以甲烷计）

检测范围

电子级氩气：半导体芯片制造用超高纯气体（6N级）

工业焊接氩气：TIG/MIG焊接保护气体（4N级）

医疗用氩气：激光手术及低温治疗专用气体

科研级氩气：光谱分析载气与真空系统填充气

混合气体基体：氩-氢/氩-氦混合气主成分分析

检测方法

纯度测定：ASTM D1945-14《气相色谱法分析气体燃料》

氧氮联测：ISO 6143:2001《气体分析-比较法测定组成》

水分检测：GB/T 5832.2-2016《露点法测定微量水分》

烃类分析：GB/T 8984-2008《气相色谱法测定气体中总烃》

杂质总量：ASTM E260-96(2011)《气相色谱通用操作规程》

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，实现ppm级杂质定量

Siemens Ultramat 23红外分析仪：专用于O₂/N₂/H₂O连续监测

Michell S8000露点仪：测量范围-100~+20℃，精度±0.5℃

SRI 8610C便携式色谱仪：现场快速筛查总烃及CO/CO₂含量

Systech EC910微量氧分析仪：电化学传感器最低检出限0.01 ppm