检测项目

阈值电压（Vth）：测量范围±50V，精度±0.1mV

传输延迟时间（Tpd）：测试频率1MHz-10GHz，分辨率≤5ps

上升/下降时间（Tr/Tf）：测量范围0.1ns-100ms，误差±2%

噪声容限（Vnoise）：测试带宽20Hz-6GHz，动态范围≥80dB

输入/输出阻抗匹配度：频率范围DC-40GHz，驻波比≤1.5:1

检测范围

半导体材料：硅基芯片、GaN功率器件、碳化硅衬底

集成电路：CMOS逻辑电路、射频前端模块、ADC/DAC转换器

电子元器件：MOSFET晶体管、IGBT模块、肖特基二极管

绝缘材料：陶瓷基板、高分子聚合物介质层

传感器系统：压电传感器阵列、光电耦合器件

检测方法

ASTM F1241-22：半导体器件直流参数测试规程

IEC 60747-8:2020：分立器件动态特性测量方法

ISO 16750-2:2023：汽车电子瞬态电压耐受性试验

GB/T 17573-2021：半导体器件基本额定值和特性

GB/T 17626.4-2018：电快速瞬变脉冲群抗扰度试验

检测设备

Keysight B1500A半导体器件分析仪：支持IV/CV曲线扫描及瞬态响应分析

Tektronix MSO64B示波器：带宽6GHz，支持眼图分析与抖动测量

Chroma 17011可编程电源系统：多通道输出精度±0.05%FS

FLUKE 289真有效值万用表：基本DC精度±0.025%

Agilent 4294A精密阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz