检测项目

气体纯度分析：测定主成分（N₂/Ar）体积分数≥99.995%

氧含量检测：检出限0.1ppm~1000ppm（V/V）

水分（H₂O）测定：露点温度-80℃~+20℃对应含水量0.5~23000ppm

烃类杂质分析：总碳氢化合物（THC）≤50ppm（甲烷当量）

颗粒物浓度测试：粒径≥0.1μm颗粒数≤100个/m³

检测范围

半导体制造用高纯氮气/氩气保护气体

金属热处理工艺用惰性气氛介质

食品包装填充用氮气混合气体

化工反应器惰性环境维持气体

医疗灭菌设备用环氧乙烷载气

检测方法

ASTM E2603-15：气相色谱法测定气体纯度及烃类杂质

ISO 11541:2021：冷凝露点法测定水分含量

GB/T 5831-2011：电化学传感器法氧含量测定

ASTM F313-2020：激光散射法颗粒物计数分析

GB/T 8979-2008：热导检测器（TCD）法测定主成分浓度

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器系统，支持C1-C6烃类全组分分析

Siemens Maxum II工业色谱系统：在线监测氧含量（精度±0.05ppm）

Michell Optidew Vision露点仪：测量范围-100~+20℃DP（精度±0.5℃）

PMS HSLIS-M50激光粒子计数器：0.1~5μm粒径分级计数（符合ISO 21501-4）

Servomex Xentra 4900Z红外分析仪：多组分气体同步检测（O₂/CO/CO₂）