检测项目
膜层厚度：测量范围50nm-10μm，精度±2%
附着力等级：划痕法测试临界载荷（1-50N）
表面粗糙度：Ra值0.01-1.0μm
元素成分分析：EDS能谱检测精度0.1at%
硬度测试：纳米压痕法（0.1-20GPa）
耐腐蚀性：中性盐雾试验（48-1000h）
电阻率：四探针法（10-6-103Ω·cm）
检测范围
金属材料：钛合金镀层、不锈钢硬质镀膜
半导体材料：GaN基板导电镀层
光学元件：红外增透膜、激光反射膜
医疗器械：生物相容性涂层（TiN/TiCN）
精密模具：DLC类金刚石耐磨镀层
检测方法
ASTM B487:2007 截面法测厚标准
ISO 26423:2016 划痕法附着力测试
GB/T 5270-2021 热震法结合强度试验
ISO 14705:2016 表面粗糙度轮廓仪法
GB/T 1771-2007 盐雾腐蚀试验规范
ASTM F1711-96(2021) 纳米压痕硬度测试
检测设备
台阶仪：Bruker Dektak XT（0.1nm分辨率）
划痕测试仪：CSM Revetest Xpress（50N传感器）
场发射电镜：Hitachi SU5000（EDS附件）
纳米压痕仪：Agilent G200（连续刚度测量）
四探针测试仪：Lucas Labs Pro4-4400（自动温控）
白光干涉仪：Zygo NewView9000（3D形貌重建）