检测项目

轮廓算术平均偏差（Ra）：0.025-6.3μm范围测量

微观不平度十点高度（Rz）：0.1-25μm精度控制

轮廓最大高度（Ry）：±0.5μm重复性误差

轮廓单元平均宽度（RSm）：10-1000μm间距分析

轮廓支承长度率（Rmr(c)）：15-95%比率测定

检测范围

金属材料：轴承/齿轮/液压阀杆（Ra 0.1-0.8μm）

工程塑料：密封件/滑块导轨（Rz 3.2-12.5μm）

陶瓷基材：半导体晶圆/切削刀具（Ry ≤0.05μm）

复合材料：碳纤维构件/层压板（RSm 50-200μm）

光学元件：透镜/反射镜（Rmr(c) ≥80%@0.25μm）

检测方法

接触式测量法：

ISO 4287:1997《几何产品规范(GPS)表面结构:轮廓法》

GB/T 3505-2009《产品几何技术规范 表面结构 轮廓法》

非接触式测量法：

ASTM E1817-08《白光干涉表面形貌测量标准规程》

GB/T 29531-2013《非接触式表面粗糙度测量方法》

比对测量法：

ISO 8503-4:2012《涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的表面粗糙度》

检测设备

泰勒霍普森Surftest SJ-410：配备2μm半径金刚石探针，分辨率0.8nm

马尔精密MarSurf LD260：支持Ra/Rz/Rmax多参数同步测量

奥林巴斯DSX1000：3D激光共聚焦显微镜（1200×900像素）

蔡司SmartProof 5：白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

基恩士VK-X3000：非接触式3D表面轮廓分析系统